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DNK大日本科研直立型近接曝光機
產品型號:MA-6801ML
產品品牌:DNK大日本科研
產品介紹:

大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)

詳細介紹

大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)。以下是關于該公司的詳細介紹:

  • 基本信息:公司成立于 1967 年 2 月 3 日,總部位于日本京都市右京區寺戸町洼 1 番地,法人代表為代表取締役社長岡本浩志,資本金為 5000 萬日元,截止到 2025 年 6 月,公司員工數為 133 名。
  • 業務范圍:主要從事精密機械以及理化學儀器、測量儀器、光學儀器的設計、制造和銷售。此外,公司還專注于光機電一體化設備和液晶面板制造設備,在超凈環境設備,尤其是清洗設備領域表現**,占據該市場約 50% 的份額。
  • 公司架構:董事會成員包括代表取締役社長岡本浩志、董事杉原正規和董事島田崇司。

通過掩膜與基板的垂直放置,來減少翹曲的直立型近接曝光機。對應水平搬送型前后處理裝置的聯機。

主要特長

  • 直立配置掩膜臺/基板臺。不需補正由掩膜/掩膜臺/基板臺的自身重量而造成的彎曲變形,構造簡單,安定性高。
  • 采用新型光學系統,使影響圖形轉印精度的傾斜角降低至過去的一半以下(與本公司裝置相比),可實現更高精度的圖形轉印。
  • 完全分離本體與光源部。光源的熱量傳遞不到本體,改善了本體部的熱量分布水準。
  • 為了防止因掩膜及玻璃基板的溫度差造成的伸縮變形,可選擇基板臺溫度控制系統及掩膜冷卻系統。(選購項)
  • *大基板尺寸為1,200mm×1,400mm。通過獨自的光學系統實現了均勻的一次性曝光。
  • 能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫
G3~G5基板用直立型近接曝光裝置

主要規格

MA-6701ML MA-6801ML MA-6131ML
基板尺寸 550 x 650mm 650 x 750mm 1100 x 1300mm
掩膜尺寸 620 x 720 x t8.0mm 700 x 800 x t8.0mm 1200 x 1400 x t4.8mm
對位 非接觸預對位~自動對位
間隙 擁有傳感性能
光源 超高壓水銀燈:8kW 超高壓水銀燈:8kW 超高壓水銀燈:18kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W3500 x D2720 x H2700 mm W4150 x D3200 x H2900 mm W11300 x D7060 x H3350 mm
本體重量 3500kg 3800kg 12700kg
光源重量 800kg 1150kg 4200kg
選購項 掩膜冷卻、基板臺溫度調節、溫控機房、特殊對位照明
用途 觸摸屏、彩色濾光片、有機EL、C-STN、電子紙等
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