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大日本科研(DNK)測量儀器、光學儀器
產品型號:MA-4301M
產品品牌:DNK大日本科研
產品介紹:

大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)。以下是關于該公司的詳細介紹:

詳細介紹

大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)。以下是關于該公司的詳細介紹:

  • 基本信息:公司成立于 1967 年 2 月 3 日,總部位于日本京都市右京區寺戸町洼 1 番地,法人代表為代表取締役社長岡本浩志,資本金為 5000 萬日元,截止到 2025 年 6 月,公司員工數為 133 名。
  • 業務范圍:主要從事精密機械以及理化學儀器、測量儀器、光學儀器的設計、制造和銷售。此外,公司還專注于光機電一體化設備和液晶面板制造設備,在超凈環境設備,尤其是清洗設備領域表現**,占據該市場約 50% 的份額。
  • 公司架構:董事會成員包括代表取締役社長岡本浩志、董事杉原正規和董事島田崇司。
主要特長

  • 利用本公司**的高速圖像處理技術, 實現了Wafer與掩膜的高精度對位。
  • 裝載機側和卸載機側*多可設置兩個籃具(選購項)。
  • 備有冷卻機構,可進行基板臺與掩膜的溫度管理(選購項)。
  • 搭載本公司**的鏡面光學系統爆光燈房(LAMP HOUSE)。從而實現了照射面內的均勻性以及高照度。
  • 搭載非接觸預對位系統(PREALIGNER)。從而實現了高精度進給且保證基板不受任何損傷。
  • 搭載有自動掩膜更換機。并可支持掩膜存放庫。
?200mm 兼容曝光機

主要規格

  MA-4301M
Wafer尺寸 材料 Si,Glass
尺寸 Φ6″ x t0.625 mm(6″ = Φ150 mm) +/- 0.2 mm
Φ8″ x t0.725 mm(8″ = Φ200 mm) +/- 0.2 mm
節拍時間 Proximity exposure:19 s/wafer
(One parallelism compensation per lot)
對位精度 自動對位:+/- 1 μm
(Peak search)
間隙 1 to 200 μm Servo motor
Setup resolution:1 μm
曝光方式 Soft contact exposure
Hard contact exposure
Proximity exposure
尺寸?重量 本體尺寸:W 1800 x D 1650 x H 2015 mm
總重量(including lamp house):1400 kg
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