KOFLOC小島高性能數字質量流量控制器 EX-201SC-RJ 美薩科技（蘇州）有限公司

高精度(±1%瞬時流量)
在一定區間可修改全量程范圍
支持多范圍、多氣體、
在免費提供的軟件上操作簡單
輸出輸入可選擇0-5V/4-20mA
電源也可以選擇DC24V
數字通信RS485(9600bps)
常用性的連接頭
Dsub9針插頭、RJ-45 模塊化插孔×2
S.P.精度保證的高精
度質量流量控制器

標準規格

傳落器類型		熱式繞線型
適用氣體※1		N? (可根據氣體轉換功能適用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4)
流量量程※3 (0℃,tatm)		10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim
控制范圍		2-100%(FS)
響應性		所有量程控制范圍1秒以內(within±2%F.S.typical)
精度		±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.)
重現性		±0.2%FS
動作壓差※4		50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa)
入口*大壓力		500kPa(G)
耐壓		980kPa(G)
外部泄漏率		1.0×10-?Pa ·m3/sec(He)以下
溫度	充許環境溫度	5~50℃
	精度保證溫度	15~35℃
	允許保存溫度	-10～60℃
允許環境濕度		10～90%RH(未出現冷凝)
與氣體接位部位的材質		SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼，PTFE,PCTFE,FKM
電氣連接		Dsub9針KFC Standard(依據SEMI standard) RJ-45模塊化插孔×2
流顯設置信號		V:0~5VDC(輸入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((輸入抗阻2502以上)
流量輸出佰號		V:0～5VDC(小負載電阻10Ω以上) I:4~20mA(小負載電阻5002以上)
數字通信		RS485旋轉開關的地址設置可選(MODBUS-RTU9600bps)
所需電源		24VDC(±10%)300mA以下
接頭		1/4SW(標準)
安裝方位		建議水平方向
重量		MFC:約500g

※1 干燥，不含腐蝕性成分以及灰塵或茅狀物的潔凈氣體
※2沒有記載的氣體換算成N2, 細則請另外聯系銷售人員。
※3流量校準單位SCCM.SLM分別表示在0℃,Iatm 時的cc m n.I.m n體積流量可使用專用軟件修改氣體種類及在指定的全量程(F S:的30～100%
(僅C02,CI4 為30~80%)之問修改全量程范圍。
※4動作壓差可能會因規格不同而異。

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小型高性能數字質量流量控制器