國(guó)內(nèi)總代原裝進(jìn)口上海有售日本ULVAC愛(ài)發(fā)科高速橢偏儀自動(dòng)UNECS-3000AW 國(guó)內(nèi)各區(qū)域均有售
高速橢圓光譜儀UNECS系列
ULVAC的高速光譜橢偏儀（UNECS系列）可以高速、高精度地測(cè)量薄膜的厚度和折射率。 采用獨(dú)特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊性。 根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型和可以集成到設(shè)備中的內(nèi)置型。
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■高速測(cè)量 獨(dú)特的測(cè)量方法，沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以以*大20ms的速度進(jìn)行高速測(cè)量，并且可以在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量重復(fù)測(cè)量和
多點(diǎn)分布測(cè)量。
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■ 除了標(biāo)準(zhǔn)型（530 nm-750 nm）外，波長(zhǎng)范圍還增加了可見(jiàn)光譜型（380 nm-760 nm），應(yīng)用范圍更廣。
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■ 緊湊型傳感器單元發(fā)射光傳感器僅由一個(gè)光學(xué)元件組成，該元件沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。
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■ 豐富的產(chǎn)品陣容能夠處理各種用途，包括獨(dú)特的便攜式類型、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)類型、大型基板類型和
內(nèi)置設(shè)備類型。
UNECS-便攜式/UNECS-Portable-030/UNECS-PortableW/UNECS-PortableW
UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030
UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030
UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型
UNECS系列是高速、高精度測(cè)量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
帶映射測(cè)量的自動(dòng)載物臺(tái)類型
UNECS系列是高速、高精度測(cè)量薄膜厚度和折射率的光譜橢偏儀。
采用獨(dú)特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨(dú)特的便攜式型到自動(dòng)載物臺(tái)型以及支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設(shè)備。
UNECS-1500A/2000A/3000A使用自動(dòng)R-theta載物臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能，可快速自動(dòng)測(cè)量基板表面的厚度分布，并將結(jié)果顯示在彩se圖中。
長(zhǎng)處：
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高速測(cè)量：
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獨(dú)特的快照方式，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量，*高速度可達(dá)20ms。
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可見(jiàn)光譜支持：
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波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見(jiàn)光譜型（380nm~760nm）。
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緊湊的傳感器單元：
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發(fā)射光傳感器僅由一個(gè)光學(xué)元件組成，該元件沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，非常輕巧緊湊，不需要定期維護(hù)。
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豐富的產(chǎn)品陣容：
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提供獨(dú)特的便攜式、手動(dòng)和自動(dòng)載物臺(tái)、大型板型、大氣和真空環(huán)境的內(nèi)置設(shè)備等廣泛的用途。
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用：
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透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蝕劑、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰減系數(shù)的測(cè)定
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規(guī)范：
